一種具有新型抽排腔的浸液供給回收裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010055888.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN113138541A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-07-20 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113138541A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-07-20 |
| 分類(lèi)號(hào) | G03F7/20（2006.01）I | 分類(lèi) | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 不公告發(fā)明人 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 浙江啟爾機(jī)電技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 杭州君度專(zhuān)利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 朱亞冠 |
| 地址 | 310000浙江省杭州市臨安市青山湖街道大園路958號(hào)科創(chuàng)大樓1幢301-305-01室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種具有新型抽排腔的浸液供給回收裝置。本發(fā)明包括抽排開(kāi)口、抽排腔以及密封抽排通道，所述的抽排腔通過(guò)多個(gè)與抽排開(kāi)口與浸沒(méi)流場(chǎng)連通，不同抽排腔連通的抽排開(kāi)口沿周向交叉排布；抽排腔至少有兩個(gè)，每個(gè)抽排腔分別通過(guò)一個(gè)密封抽排通道與浸液回收系統(tǒng)連通；各個(gè)抽排腔與密封抽排通道的連通點(diǎn)沿抽排腔周向均勻布置。本發(fā)明通過(guò)將浸液抽排開(kāi)口交叉引入多個(gè)抽排腔再被密封抽排通道抽排的方法，使不同的抽排腔和密封抽排通道始終同時(shí)處理高流量負(fù)載和低流量負(fù)載的抽排開(kāi)口，改善了浸液回收通道的負(fù)載均衡能力，提高了維持浸沒(méi)流場(chǎng)密封的穩(wěn)定性、抑制氣液兩相流型改變所引發(fā)的振動(dòng)特性和熱傳導(dǎo)特性波動(dòng)問(wèn)題，從而提高曝光質(zhì)量。 |
