一種具有氣液分離回收功能的浸液供給回收裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010055887.X 申請日 -
公開（公告）號 CN113138540A 公開（公告）日 2021-07-20
申請公布號 CN113138540A 申請公布日 2021-07-20
分類號 G03F7/20（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請（專利權(quán)）人 浙江啟爾機電技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 杭州君度專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 朱亞冠
地址 310000浙江省杭州市臨安市青山湖街道大園路958號科創(chuàng)大樓1幢301-305-01室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種具有氣液分離回收功能的浸液供給回收裝置。所述裝置由浸液供給模塊、密封氣體供給模塊和氣液回收模塊組成，向浸沒式光刻機的投影物鏡組和硅片襯底之間的空隙提供浸沒液體和密封氣體形成浸沒流場。通過設(shè)置特殊的抽排開口形狀和填充多孔介質(zhì)，本發(fā)明在保證浸沒流場有效密封維持的同時，將浸液與密封氣體分離、分通道回收，減小由于氣液兩相混合回收所引起的回收流道和下游管路振動及其對浸沒流場的沖擊，可提高曝光過程中核心溫度場的穩(wěn)定性，提高硅片掃描曝光的質(zhì)量。