一種用于浸沒式光刻機的浸液供給回收裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010055886.5 申請日 -
公開（公告）號 CN113138539A 公開（公告）日 2021-07-20
申請公布號 CN113138539A 申請公布日 2021-07-20
分類號 G03F7/20（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 付新;王曉波;吳敏;蘇芮;胡亮 申請（專利權(quán)）人 浙江啟爾機電技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 杭州君度專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 朱亞冠
地址 310027浙江省杭州市浙大路38號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于浸沒式光刻機的浸液供給回收裝置。所述裝置包包括浸液供給通道、浸液回收通道以及抽排開口，相鄰的抽排開口之間設(shè)置釘扎帶；所述釘扎帶具有內(nèi)釘扎帶和外釘扎帶，分別限制彎液面向內(nèi)后退和向外前進，可提高浸沒流場的密封能力，改善浸液回收通道的振動特性，提高襯底曝光的質(zhì)量。