一種用于浸沒式光刻機的浸液供給回收裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010055161.6 申請日 -
公開（公告）號 CN113138538A 公開（公告）日 2021-07-20
申請公布號 CN113138538A 申請公布日 2021-07-20
分類號 G03F7/20（2006.01）I 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請（專利權）人 浙江啟爾機電技術有限公司
代理機構(gòu) 杭州君度專利代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 朱亞冠
地址 310000浙江省杭州市臨安市青山湖街道大園路958號科創(chuàng)大樓1幢301-305-01室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于浸沒式光刻機的浸液供給回收裝置。所述裝置包包括浸液供給通道、浸液回收通道以及抽排開口，在抽排開口和注氣開口之間設置緩沖腔，使彎液面在向外運動時壓縮緩沖腔；緩沖腔受壓縮后會增強氣密封壓力，提高氣密封對彎液面的約束效果。設計注氣開口到抽排開口的流道流阻顯著小于注氣開口到外部開放環(huán)境的流道流阻，使來自注氣開口的密封氣體大部分流向緩沖腔和抽排開口，可以增大緩沖腔對襯底運動速度的適應范圍。