一種用于浸沒式光刻機(jī)的浸液供給回收裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010055155.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113138537A 公開（公告）日 2021-07-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN113138537A 申請(qǐng)公布日 2021-07-20
分類號(hào) G03F7/20（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 付新;李威鋒;吳敏;蘇芮;胡亮 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 浙江啟爾機(jī)電技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州君度專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 朱亞冠
地址 310027浙江省杭州市浙大路38號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于浸沒式光刻機(jī)的浸液供給回收裝置。所述裝置具有第一抽排開口和第二抽排開口，使大部分浸液經(jīng)第一抽排開口被抽吸，大部分密封氣體經(jīng)第二抽排開口被抽吸，使第一抽排開口和第二抽排開口中都具有較穩(wěn)定的氣液比例和流型；抽排開口和注氣開口之間設(shè)置緩沖腔，使彎液面在向外運(yùn)動(dòng)時(shí)壓縮緩沖腔；緩沖腔受壓縮后會(huì)增強(qiáng)氣密封壓力，提高氣密封對(duì)彎液面的約束效果。