一種高靈敏度實(shí)時(shí)在線原位振動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng)及方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910716674.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112326013A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-02-05 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112326013A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-02-05 |
| 分類號(hào) | G01H9/00(2006.01)I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 孫良;徐征宙;郭美微 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 量敏傳感技術(shù)（上海）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 201400上海市奉賢區(qū)奉浦工業(yè)區(qū)奉浦大道111號(hào)7樓2205室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種高靈敏度實(shí)時(shí)在線原位振動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng)及方法，基于光場(chǎng)內(nèi)部干涉原理識(shí)別振動(dòng)模式且通過(guò)匹配連續(xù)振動(dòng)點(diǎn)的相似曲線來(lái)區(qū)分振動(dòng)信號(hào)源和振動(dòng)噪聲干擾，同時(shí)高靈敏度光路系統(tǒng)可以識(shí)別干涉區(qū)域的微小變動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)高靈敏度實(shí)時(shí)在線原位振動(dòng)檢測(cè)。激光進(jìn)入分光棱鏡，一部分光束直接到達(dá)反射鏡面，而后返回至分光棱鏡后，被探測(cè)器采集；另一部分光束經(jīng)過(guò)光學(xué)變換后光路進(jìn)入振動(dòng)模塊,振動(dòng)改變?nèi)肷涔馐瓷渎窂胶凸馄裥畔ⅲ畔⒐馐c在先反射光束發(fā)生干涉，以不發(fā)生振動(dòng)狀態(tài)的探測(cè)器界面為基準(zhǔn)，識(shí)別振動(dòng)模式和干涉區(qū)域振動(dòng)位移的微小變動(dòng)。該統(tǒng)及方法具有靈敏度高、實(shí)時(shí)、在線原位、高可靠性和穩(wěn)定性，信息豐富，功能易于擴(kuò)充等特點(diǎn)。?? |
