一種碳?xì)直匦阅艹掷m(xù)性監(jiān)控裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021332126.6 申請日 -
公開（公告）號 CN214174215U 公開（公告）日 2021-09-10
申請公布號 CN214174215U 申請公布日 2021-09-10
分類號 G01N25/20（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 劉汝強;王殿春;宋琪;周清波 申請（專利權(quán)）人 山東國晶新材料有限公司
代理機構(gòu) 濟南金迪知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 趙龍群
地址 251200山東省德州市禹城市南環(huán)東路88號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種碳?xì)直匦阅艹掷m(xù)性監(jiān)控裝置，屬于化學(xué)氣相沉積技術(shù)領(lǐng)域，裝置包括碳?xì)直赝昂玩u錸熱電偶，碳?xì)直赝鞍ㄌ淄埠蜖t殼，爐殼套裝于套筒外側(cè)，爐殼內(nèi)安裝鎢錸熱電偶，鎢錸熱電偶連接無紙記錄儀。本實用新型可不間斷對碳?xì)直匦阅苓M行監(jiān)控，方便、精準(zhǔn)的測量不同部位的碳?xì)直財?shù)據(jù)，數(shù)據(jù)科學(xué)、準(zhǔn)確、誤差少，確保產(chǎn)品及設(shè)備安全。