一種蒸發(fā)源用組合隔熱屏

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022133630.X 申請日 -
公開（公告）號 CN213866394U 公開（公告）日 2021-08-03
申請公布號 CN213866394U 申請公布日 2021-08-03
分類號 C23C14/24（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 劉汝強;王殿春;趙旭榮 申請（專利權(quán)）人 山東國晶新材料有限公司
代理機構(gòu) 濟南金迪知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 趙龍群
地址 251200山東省德州市禹城市南環(huán)東路88號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種蒸發(fā)源用組合隔熱屏，屬于蒸鍍技術(shù)領(lǐng)域。隔熱屏包括PBN層和金屬層，PBN層和金屬層交替設(shè)置，PBN的熱導(dǎo)率為2?3W/M.K，熱導(dǎo)率低，隔熱效果好。本實用新型適用于蒸發(fā)源，通過PBN層和金屬層的組合達到良好的隔熱效果。