一種蒸發(fā)源用組合隔熱屏

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022133630.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN213866394U 公開(kāi)（公告）日 2021-08-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN213866394U 申請(qǐng)公布日 2021-08-03
分類(lèi)號(hào) C23C14/24（2006.01）I 分類(lèi) 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 劉汝強(qiáng);王殿春;趙旭榮 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 山東國(guó)晶新材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 濟(jì)南金迪知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 趙龍群
地址 251200山東省德州市禹城市南環(huán)東路88號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種蒸發(fā)源用組合隔熱屏，屬于蒸鍍技術(shù)領(lǐng)域。隔熱屏包括PBN層和金屬層，PBN層和金屬層交替設(shè)置，PBN的熱導(dǎo)率為2?3W/M.K，熱導(dǎo)率低，隔熱效果好。本實(shí)用新型適用于蒸發(fā)源，通過(guò)PBN層和金屬層的組合達(dá)到良好的隔熱效果。