一種制備內(nèi)CVD沉積立體式復(fù)合陶瓷加熱器的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910998161.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110572889B 公開（公告）日 2022-02-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN110572889B 申請(qǐng)公布日 2022-02-11
分類號(hào) H05B3/14（2006.01）I;C23C16/34（2006.01）I;C23C16/26（2006.01）I 分類 其他類目不包含的電技術(shù);
發(fā)明人 劉汝強(qiáng);王殿春;孫蕾;吳思華;趙旭榮 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 山東國(guó)晶新材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 濟(jì)南金迪知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王楠;周慰曾
地址 251200山東省德州市禹城市南環(huán)東路88號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種制備內(nèi)CVD沉積立體式復(fù)合陶瓷加熱器的方法，屬于加熱器技術(shù)領(lǐng)域，加熱器包含PBN基體、PG涂層電路以及PBN涂層保護(hù)層；通過化學(xué)氣相沉積制備PBN基體，再在PBN基體內(nèi)表面沉積PG涂層，通過雕刻PG涂層制備電路，再沉積PBN涂層保護(hù)層，最終得到內(nèi)表面加熱的加熱器，大幅度提高加熱器加熱的均勻性，熱量損失小，耗能低。