一種去除夾持桿表面殘渣的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010918646.3 申請日 -
公開（公告）號 CN112222097B 公開（公告）日 2022-03-08
申請公布號 CN112222097B 申請公布日 2022-03-08
分類號 B08B5/02（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;H01J23/24（2006.01）N;H01J25/34（2006.01）N 分類 清潔;
發(fā)明人 劉汝強;王殿春;秦虎;周清波 申請（專利權(quán)）人 山東國晶新材料有限公司
代理機構(gòu) 濟南金迪知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 顏洪嶺
地址 251200山東省德州市禹城市南環(huán)東路88號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種去除夾持桿表面殘渣的方法，采用無菌高純氮氣對夾持桿進行高壓吹掃，可有效去除夾持桿表面滲透的氮化硼殘渣，使夾持桿表面達到較高的潔凈度，清潔效果顯著。本發(fā)明去除夾持桿表面殘渣的方法，采用特制工裝固定住夾持桿，能夠避免夾持桿在高壓吹掃下的變形，既達到清潔目的，又能保證夾持桿的形狀。