一種快速清理石墨齒輪的裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021467911.2 申請日 -
公開（公告）號 CN214348111U 公開（公告）日 2021-10-08
申請公布號 CN214348111U 申請公布日 2021-10-08
分類號 B08B1/04（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 劉汝強(qiáng);王殿春;劉斌;竇松德;周清波 申請（專利權(quán)）人 山東國晶新材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 濟(jì)南金迪知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 趙龍群
地址 251200山東省德州市禹城市南環(huán)東路88號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種快速清理石墨齒輪的裝置，包括底座，底座上側(cè)活動設(shè)置有石墨齒輪固定座，石墨齒輪可拆卸安裝在石墨齒輪固定座上，石墨齒輪固定座相對一側(cè)底座上設(shè)置有驅(qū)動電機(jī)，驅(qū)動電機(jī)輸出端通過驅(qū)動軸連接石墨齒輪刷，石墨齒輪刷為環(huán)形結(jié)構(gòu)，環(huán)形結(jié)構(gòu)內(nèi)壁均布有若干軟刷毛，石墨齒輪刷套設(shè)與石墨齒輪外側(cè)，用該快速清理石墨齒輪的裝置，石墨齒輪表面無沉積物，可以最大限度提高CVD爐每次進(jìn)行氣象沉積過程中石墨齒輪運(yùn)行穩(wěn)定性，同時通過包裹式的設(shè)計(jì)，可以到達(dá)更好的清洗效果，同時可以通過移動石墨齒輪固定座的位置，減小齒刷和齒輪的位置誤差，提高產(chǎn)品良品率及合格率。