一種雙探針的納米測量儀器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010177815.2 申請日 -
公開(公告)號 CN111238373A 公開(公告)日 2020-06-05
申請公布號 CN111238373A 申請公布日 2020-06-05
分類號 G01B11/00(2006.01)I 分類 測量;測試;
發(fā)明人 蘇全民;陳庚亮 申請(專利權(quán))人 深圳明銳儀器有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京棘龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 戴麗偉
地址 518000廣東省深圳市龍崗區(qū)龍城街道黃閣坑社區(qū)龍飛大道333號啟迪協(xié)信4棟520
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種雙探針的納米測量儀器,包括測量器主體;所述測量器主體的前端設(shè)有第一探針、第二探針;所述第一探針用于探測外部環(huán)境干擾下的被測物體的信號;所述第二探針用于探測被測物體的附近環(huán)境的干擾信號;本發(fā)明的有益效果在于:本設(shè)計采用了雙探針,一個探針探測外部環(huán)境干擾下的被測物體的信號,另一個探測被測物體的附近環(huán)境的干擾信號,通過計算出兩個信號數(shù)值,最后兩個數(shù)值相減,得到的數(shù)值就是被測物體的數(shù)值;讓納米測量系統(tǒng)省去了傳統(tǒng)的封閉壞鏡設(shè)備,且能夠測量大型的被測物體。??