基于原子力顯微鏡與離子束的層析檢測(cè)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022731217.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214794877U 公開(kāi)（公告）日 2021-11-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN214794877U 申請(qǐng)公布日 2021-11-19
分類號(hào) G01Q60/24（2010.01）I;G01Q60/42（2010.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 陳庚亮;吳森 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳明銳儀器有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上?；坳现R(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 徐海晟
地址 518172廣東省深圳市龍崗區(qū)龍城街道黃閣坑社區(qū)龍飛大道333號(hào)啟迪協(xié)信4棟520
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種基于原子力顯微鏡與離子束的層析檢測(cè)裝置，包括用于在內(nèi)部形成真空環(huán)境的設(shè)備外殼、原子力顯微鏡、離子束裝置、控制裝置，以及樣品承載裝置；所述樣品承載裝置與所述原子力顯微鏡均設(shè)于所述真空環(huán)境，所述離子束裝置固定設(shè)于所述設(shè)備外殼；所述原子力顯微鏡包括探針，以及用于驅(qū)動(dòng)所述探針運(yùn)動(dòng)的探針驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)；所述樣品承載裝置包括用于承載樣品的樣品臺(tái)，以及用于驅(qū)動(dòng)所述樣品臺(tái)與其上樣品運(yùn)動(dòng)的樣品臺(tái)驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)；所述控制裝置分別通過(guò)信號(hào)對(duì)所述探針驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)與所述樣品臺(tái)驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)進(jìn)行控制。層析檢測(cè)通過(guò)離子束裝置和原子力顯微鏡的原位交替使用或者同時(shí)使用實(shí)現(xiàn)。