基于原子力顯微鏡與離子束的層析檢測裝置與方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202011321337.4 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN112557702A | 公開（公告）日 | 2021-03-26 |
| 申請公布號 | CN112557702A | 申請公布日 | 2021-03-26 |
| 分類號 | G01Q60/24(2010.01)I;G01Q60/42(2010.01)I | 分類 | 測量；測試; |
| 發(fā)明人 | 陳庚亮;吳森 | 申請（專利權(quán)）人 | 深圳明銳儀器有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 上?；坳现R產(chǎn)權(quán)代理事務所（普通合伙） | 代理人 | 徐海晟 |
| 地址 | 518172廣東省深圳市龍崗區(qū)龍城街道黃閣坑社區(qū)龍飛大道333號啟迪協(xié)信4棟520 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種基于原子力顯微鏡與離子束的層析檢測裝置與方法，其中的層析檢測裝置，包括用于在內(nèi)部形成真空環(huán)境的設(shè)備外殼、原子力顯微鏡、離子束裝置、控制裝置，以及樣品承載裝置；所述樣品承載裝置與所述原子力顯微鏡均設(shè)于所述真空環(huán)境，所述離子束裝置固定設(shè)于所述設(shè)備外殼；所述原子力顯微鏡包括探針，以及用于驅(qū)動所述探針運動的探針驅(qū)動結(jié)構(gòu)；所述樣品承載裝置包括用于承載樣品的樣品臺，以及用于驅(qū)動所述樣品臺與其上樣品運動的樣品臺驅(qū)動結(jié)構(gòu)；所述控制裝置分別通過信號對所述探針驅(qū)動結(jié)構(gòu)與所述樣品臺驅(qū)動結(jié)構(gòu)進行控制。層析檢測通過離子束裝置和原子力顯微鏡的原位交替使用或者同時使用實現(xiàn)。?? |
