聲表面波裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110587483.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113114159A 公開（公告）日 2021-07-13
申請(qǐng)公布號(hào) CN113114159A 申請(qǐng)公布日 2021-07-13
分類號(hào) H03H9/145（2006.01）I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 王陽(yáng);陸彬;曹庭松;吳洋洋 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京超材信息科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京律智知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 孫寶海;袁禮君
地址 102600北京市大興區(qū)金盛大街2號(hào)院17號(hào)樓3層301
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出了一種聲表面波裝置，包括：壓電基板；IDT電極，所述IDT電極包括多個(gè)IDT電極單元，所述多個(gè)IDT電極單元層疊設(shè)置在所述壓電基板上，其中每個(gè)IDT電極單元包括：第一緩沖層，設(shè)置在所述壓電基板上，所述第一緩沖層包括金屬鈦或鉻中的至少一種，在將所述IDT電極的電極周期所確定的彈性波的波長(zhǎng)設(shè)為λ時(shí)，所述第一緩沖層的厚度為0.5％λ以下；第一金屬層，設(shè)置在所述第一緩沖遠(yuǎn)層離所述壓電基板的表面上，所述第一金屬層包括鋁,所述第一金屬層的厚度范圍在1％λ?30％λ之間。根據(jù)本發(fā)明的聲表面裝置，能夠提高鋁的抗電遷移能力，在提高聲表面波裝置的最大耐受功率的同時(shí)，還可以提高聲表面波裝置的耐久性，并且能夠兼顧聲表面波裝置的頻率特性，避免聲表面波裝置的頻率隨溫度變化漂移比較大，增強(qiáng)溫度穩(wěn)定性。