聲表面波裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110587483.X 申請日 -
公開（公告）號 CN113114159B 公開（公告）日 2021-12-10
申請公布號 CN113114159B 申請公布日 2021-12-10
分類號 H03H9/145 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 王陽;陸彬;曹庭松;吳洋洋 申請（專利權(quán)）人 北京超材信息科技有限公司
代理機構(gòu) 北京律智知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 孫寶海;袁禮君
地址 102600 北京市大興區(qū)金盛大街2號院17號樓3層301
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出了一種聲表面波裝置，包括：壓電基板；IDT電極，所述IDT電極包括多個IDT電極單元，所述多個IDT電極單元層疊設(shè)置在所述壓電基板上，其中每個IDT電極單元包括：第一緩沖層，設(shè)置在所述壓電基板上，所述第一緩沖層包括金屬鈦或鉻中的至少一種，在將所述IDT電極的電極周期所確定的彈性波的波長設(shè)為λ時，所述第一緩沖層的厚度為0.5％λ以下；第一金屬層，設(shè)置在所述第一緩沖遠層離所述壓電基板的表面上，所述第一金屬層包括鋁,所述第一金屬層的厚度范圍在1％λ?30％λ之間。根據(jù)本發(fā)明的聲表面裝置，能夠提高鋁的抗電遷移能力，在提高聲表面波裝置的最大耐受功率的同時，還可以提高聲表面波裝置的耐久性，并且能夠兼顧聲表面波裝置的頻率特性，避免聲表面波裝置的頻率隨溫度變化漂移比較大，增強溫度穩(wěn)定性。