用于聲表面波器件的復(fù)合襯底及制造方法、聲表面波器件

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111150737.8 申請日 -
公開（公告）號 CN113872557A 公開（公告）日 2021-12-31
申請公布號 CN113872557A 申請公布日 2021-12-31
分類號 H03H9/02（2006.01）I;H03H9/145（2006.01）I;H03H3/10（2006.01）I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 王陽;吳洋洋;曹庭松;陸彬 申請（專利權(quán)）人 北京超材信息科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京律智知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 孫寶海;袁禮君
地址 102600北京市大興區(qū)金盛大街2號院17號樓3層301
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出了一種用于聲表面波器件的復(fù)合襯底，壓電薄膜，壓電薄膜為單晶薄膜；基底，具有在基底厚度方向上相對的第一側(cè)和第二側(cè)，基底傳播的體波聲速高于壓電薄膜傳輸?shù)穆暠砻娌曀?；氧化層，氧化層設(shè)置在所述基底與壓電薄膜之間，氧化層為多晶薄膜，氧化層傳播的體波聲速低于壓電薄膜傳播的聲表面波聲速，氧化層具有大于零的頻率溫度系數(shù)，氧化層的厚度為30nm以上。由此，能夠不易產(chǎn)生翹曲，降低插入損耗、提高溫度穩(wěn)定性。