射頻前端聲波諧振器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010148821.5 申請日 -
公開（公告）號 CN113364425A 公開（公告）日 2021-09-07
申請公布號 CN113364425A 申請公布日 2021-09-07
分類號 H03H9/145;H03H9/15 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 陳真;劉曉軍;韓娜 申請（專利權）人 合肥先微企業(yè)管理咨詢合伙企業(yè)（有限合伙）
代理機構(gòu) 上海段和段律師事務所 代理人 李佳俊;郭國中
地址 230001 安徽省合肥市廬陽區(qū)臨泉路與鳳淮路交口楓林雅苑1#901
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種射頻前端聲波諧振器，包括：襯底1、底電極2、壓電層3、上電極4和空氣腔體8；所述空氣腔體8由所述襯底1和所述壓電層3包圍形成，所述底電極2位于所述壓電層3的內(nèi)側(cè)，所述上電極4位于所述壓電層3的外側(cè)，所述上電極4包括多個梳狀排列的上電極單元。本發(fā)明通過采用梳狀上電極結(jié)構(gòu)，從而可以改變梳狀電極的寬度，進而調(diào)節(jié)壓電諧振器的頻率。本發(fā)明提出的壓電諧振器可以在單片基底上實現(xiàn)多個諧振頻率，從而使得本發(fā)明具有靈活、方便地調(diào)節(jié)諧振器頻率等優(yōu)點。