一種基于石墨烯的加速度傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510001977.X 申請日 -
公開（公告）號 CN104502631A 公開（公告）日 2015-04-08
申請公布號 CN104502631A 申請公布日 2015-04-08
分類號 G01P15/12(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王振中 申請（專利權(quán)）人 廈門烯成科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 361015 福建省廈門市火炬高新區(qū)創(chuàng)業(yè)園偉業(yè)樓北樓406A室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基于石墨烯的加速度傳感器，所述加速度傳感器包括表面絕緣的襯底，所述襯底的四周分別設(shè)有一片石墨烯薄膜，所述石墨烯薄膜兩端分別設(shè)有一個(gè)金屬導(dǎo)電電極，所述加速度傳感器還包括一個(gè)封裝腔，所述封裝腔與襯底對應(yīng)形成一個(gè)密閉的腔體，所述腔體內(nèi)填充有氣體。本發(fā)明所述的基于石墨烯的加速度傳感器利用氣體濃度變化以及石墨烯吸附氣體的電阻響應(yīng)來實(shí)現(xiàn)對加速度的測量，具有結(jié)構(gòu)簡單、響應(yīng)時(shí)間短、靈敏度高和穩(wěn)定性強(qiáng)的特點(diǎn)。