一種基于石墨烯的加速度傳感器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201510001977.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN104502631B 公開(kāi)（公告）日 2017-06-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN104502631B 申請(qǐng)公布日 2017-06-06
分類號(hào) G01P15/12(2006.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 王振中 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 廈門(mén)烯成科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 361015 福建省廈門(mén)市火炬高新區(qū)創(chuàng)業(yè)園偉業(yè)樓南樓S301c室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種基于石墨烯的加速度傳感器，所述加速度傳感器包括表面絕緣的襯底，所述襯底的四周分別設(shè)有一片石墨烯薄膜，所述石墨烯薄膜兩端分別設(shè)有一個(gè)金屬導(dǎo)電電極，所述加速度傳感器還包括一個(gè)封裝腔，所述封裝腔與襯底對(duì)應(yīng)形成一個(gè)密閉的腔體，所述腔體內(nèi)填充有氣體。本發(fā)明所述的基于石墨烯的加速度傳感器利用氣體濃度變化以及石墨烯吸附氣體的電阻響應(yīng)來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)加速度的測(cè)量，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、響應(yīng)時(shí)間短、靈敏度高和穩(wěn)定性強(qiáng)的特點(diǎn)。