一種成品大面積籽晶和矩形大面積籽晶的制備方法及設(shè)備
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN201110300537.6 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN102330144A | 公開(公告)日 | 2012-01-25 |
申請公布號 | CN102330144A | 申請公布日 | 2012-01-25 |
分類號 | C30B11/00(2006.01)I;C30B11/14(2006.01)I;C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
發(fā)明人 | 陳根茂;王人松 | 申請(專利權(quán))人 | 陜西合木實業(yè)有限公司 |
代理機構(gòu) | 西安西交通盛知識產(chǎn)權(quán)代理有限責任公司 | 代理人 | 羅永娟 |
地址 | 710075 陜西省西安市灃惠南路杰座廣場1601 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明公開了一種單晶鑄錠用大面積籽晶的制備方法和設(shè)備,具體步驟包括:1)取常規(guī){100}單晶棒截去頭尾,沿中軸縱向(010)或(110)面剖開得到扁平長條狀的單晶籽晶條;2)將所述單晶籽晶條和硅料一起放置在矩形平底坩堝內(nèi),并放入水平生長爐中進行水平定向生長后,得到成品大面積單晶;3)將上述得到的成品大面積單晶進行切割和打磨,得到用于鑄錠爐進行單晶鑄錠的矩形大面積籽晶,所述矩形大面積籽晶邊長為300~2000mm之間。本發(fā)明解決了鑄造單晶所必需的大面積籽晶的難題,為鑄造單晶硅錠提供了技術(shù)基礎(chǔ),從而跨越了”準單晶”或”類單晶”的鑄錠技術(shù)。 |
