一種六氟化硫氣體的回收裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201120358781.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN202246063U 公開（公告）日 2012-05-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN202246063U 申請(qǐng)公布日 2012-05-30
分類號(hào) C01B17/45(2006.01)I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 陳興龍;劉永生;李凱 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 洛陽福盛德電子制品有限公司
代理機(jī)構(gòu) 洛陽公信知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張彬
地址 471000 河南省洛陽市澗西區(qū)科技工業(yè)園區(qū)科技一路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種六氟化硫氣體的回收裝置，涉及一種氣體回收裝置，包括通氣管道、可視流量器和回收罐，通氣管道通過可視流量器與回收罐連接，通氣管道設(shè)置在支架上，在通氣管道上至少一個(gè)儲(chǔ)氣罐接口，在通氣管道與回收罐的連接管路上還設(shè)有緩沖罐；本實(shí)用新型其結(jié)構(gòu)簡單合理，回收氣體速度快，而且操作方便，剩余氣體從儲(chǔ)氣罐接口通過管道、可視流量器被收集到回收罐內(nèi)，可以重新使用，節(jié)省了企業(yè)的開銷，從而減少了企業(yè)的經(jīng)濟(jì)負(fù)擔(dān)。