一種耐熱性光刻膠組合物

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810301085.5 申請日 -
公開（公告）號 CN108535960A 公開（公告）日 2018-09-14
申請公布號 CN108535960A 申請公布日 2018-09-14
分類號 G03F7/004;G03F7/008;G03F7/038 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 康文兵 申請（專利權）人 倍晶新材料（山東）有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 200233 上海市徐匯區(qū)桂平路333號6號樓602室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種耐熱性光刻膠組合物，按重量份數(shù)計，包括：a）基礎光刻膠；b）耐熱性樹脂；其中，所述基礎光刻膠主要組分為酚醛樹脂和光敏劑，所述耐熱性樹脂為顯影液可溶解的含酰胺或酰亞胺基樹脂。本發(fā)明的耐熱性光刻膠組合物在曝光顯影后，光刻膠的耐熱性能提高；以及在蝕刻和離子注入等工藝時，可以更好的承受由于工藝帶來的溫度上升造成的尺寸變動，保持光刻膠不軟化變形以達到工藝穩(wěn)定性，保證了工藝良好的收率。