一種藍(lán)寶石襯底上的發(fā)光二極管芯片的制作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200610077626.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN101055908B 公開（公告）日 2010-05-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN101055908B 申請(qǐng)公布日 2010-05-26
分類號(hào) H01L33/00(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 何曉光;武勝利;曾凡明;王強(qiáng);張舜;郭建華;肖志國(guó) 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 大連路美芯片科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 116025 遼寧省大連市高新園區(qū)七賢嶺高能街1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種藍(lán)寶石襯底上的發(fā)光二極管芯片的制作方法，特別涉及一種在藍(lán)寶石襯底上的發(fā)光二極管芯片的切割分離方法。本發(fā)明的重點(diǎn)在于利用外延層與藍(lán)寶石襯底的晶格失配產(chǎn)生的應(yīng)力場(chǎng)來(lái)控制切割劈裂方向；方法是通過干法刻蝕部分外延層，導(dǎo)致在沿表面方向應(yīng)力場(chǎng)的變化，有效控制劈裂方向。此方法將提高發(fā)光二極管芯片在切割分離過程中的成品率。同時(shí)可以在維持成品率的基礎(chǔ)上，減小切割道的尺寸。