一種晶體生長(zhǎng)設(shè)備監(jiān)控裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201820176647.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN207919022U | 公開(kāi)（公告）日 | 2018-09-28 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN207919022U | 申請(qǐng)公布日 | 2018-09-28 |
| 分類(lèi)號(hào) | C30B35/00 | 分類(lèi) | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 劉紹磊;張玉艷;李玉杰;于宏濤;張娜 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 沈陽(yáng)奎昊電力機(jī)械制造有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 沈陽(yáng)銘揚(yáng)聯(lián)創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 沈陽(yáng)奎昊電力機(jī)械制造有限公司 |
| 地址 | 110136 遼寧省沈陽(yáng)市沈北新區(qū)沈北路49號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種晶體生長(zhǎng)設(shè)備監(jiān)控裝置，包括觸摸屏、給料控制單元、升降控制單元以及氣體控制單元，觸摸屏安裝在一工作臺(tái)上，觸摸屏實(shí)現(xiàn)對(duì)晶體生長(zhǎng)設(shè)備運(yùn)行監(jiān)視過(guò)程、操作過(guò)程以及參數(shù)的記錄過(guò)程；觸摸屏背板的232接口與所述升降控制單元連接，升降控制單元控制升降電機(jī)，升降電機(jī)驅(qū)動(dòng)升降機(jī)構(gòu)控制晶體生長(zhǎng)爐的升降，觸摸屏背板485的接口與氣體控制單元連接，氣體控制單元調(diào)節(jié)氧氣閥和氫氣閥的開(kāi)度調(diào)節(jié)晶體生長(zhǎng)爐燃燒所需氧氣和氫氣量，觸摸屏背板的以太網(wǎng)接口與給料控制單元連接，給料控制單元調(diào)節(jié)給料電機(jī)旋轉(zhuǎn)速度和振幅調(diào)節(jié)晶體生長(zhǎng)過(guò)程中給料量。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)對(duì)晶體生長(zhǎng)爐的集中監(jiān)視、集中操作、自動(dòng)控制、自動(dòng)調(diào)節(jié)參數(shù)。 |
