一種晶體生長設備監(jiān)控裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201820176647.3 申請日 -
公開（公告）號 CN207919022U 公開（公告）日 2018-09-28
申請公布號 CN207919022U 申請公布日 2018-09-28
分類號 C30B35/00 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 劉紹磊;張玉艷;李玉杰;于宏濤;張娜 申請（專利權）人 沈陽奎昊電力機械制造有限公司
代理機構 沈陽銘揚聯(lián)創(chuàng)知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 沈陽奎昊電力機械制造有限公司
地址 110136 遼寧省沈陽市沈北新區(qū)沈北路49號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種晶體生長設備監(jiān)控裝置，包括觸摸屏、給料控制單元、升降控制單元以及氣體控制單元，觸摸屏安裝在一工作臺上，觸摸屏實現(xiàn)對晶體生長設備運行監(jiān)視過程、操作過程以及參數(shù)的記錄過程；觸摸屏背板的232接口與所述升降控制單元連接，升降控制單元控制升降電機，升降電機驅動升降機構控制晶體生長爐的升降，觸摸屏背板485的接口與氣體控制單元連接，氣體控制單元調節(jié)氧氣閥和氫氣閥的開度調節(jié)晶體生長爐燃燒所需氧氣和氫氣量，觸摸屏背板的以太網接口與給料控制單元連接，給料控制單元調節(jié)給料電機旋轉速度和振幅調節(jié)晶體生長過程中給料量。本實用新型的優(yōu)點對晶體生長爐的集中監(jiān)視、集中操作、自動控制、自動調節(jié)參數(shù)。