八管區(qū)熔爐

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201521008518.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN205188473U 公開（公告）日 2016-04-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN205188473U 申請(qǐng)公布日 2016-04-27
分類號(hào) C30B13/16(2006.01)I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 諸小龍;馮先達(dá) 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 南京中鍺科技有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 南京知識(shí)律師事務(wù)所 代理人 南京中鍺科技有限責(zé)任公司
地址 211165 江蘇省南京市江寧開發(fā)區(qū)將軍大道718號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種八管區(qū)熔爐，可供在通氫保護(hù)氣氛區(qū)熔，也可以在真空狀態(tài)下區(qū)熔工藝使用。它包括箱體組件、爐體組件、屏蔽罩、進(jìn)舟爐門組件、出舟爐門組件、石英管，還包括區(qū)熔小車部件、供氣系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、調(diào)整座組件；爐體組件、區(qū)熔小車部件、冷卻系統(tǒng)安裝于箱體組件上部，供氣系統(tǒng)安裝于箱體組件下部，調(diào)整座組件安裝于箱體組件底部；屏蔽罩安裝于爐體組件上部，石英管安裝于爐體組件內(nèi)，石英管為八根，相互獨(dú)立控制。當(dāng)在真空條件下使用，則將出舟爐門組件氣動(dòng)閥改用DN25規(guī)格，后接真空調(diào)節(jié)站、真空除塵器和干式渦旋真空泵。本裝置安全性高，適用性強(qiáng)，當(dāng)部分石英管故障，不影響區(qū)熔爐使用。