一種防止前驅(qū)體液滴進(jìn)入管線或腔體的源瓶

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201920030014.6 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN209481790U 公開(公告)日 2019-10-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN209481790U 申請(qǐng)公布日 2019-10-11
分類號(hào) C23C16/448;C23C16/455 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆;用金屬材料對(duì)材料的鍍覆;表面化學(xué)處理;金屬材料的擴(kuò)散處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆;金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請(qǐng)(專利權(quán))人 銅陵安德科銘電子材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 哈爾濱市偉晨專利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 合肥安德科銘半導(dǎo)體科技有限公司
地址 230088 安徽省合肥市高新區(qū)創(chuàng)新大道106號(hào)明珠產(chǎn)業(yè)園3號(hào)樓5層E區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種防止前驅(qū)體液滴進(jìn)入管線或腔體的源瓶,在源瓶中用增加隔板形成隔離區(qū),隔離區(qū)成為一個(gè)過渡緩沖空間,收集前一步驟產(chǎn)生的液體并可釋放前驅(qū)體蒸汽到反應(yīng)腔體中,從而有效避免或減少前驅(qū)體液體被帶入氣體管路或反應(yīng)腔體。