一種防止前驅(qū)體液滴進入管線或腔體的源瓶

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920030014.6 申請日 -
公開（公告）號 CN209481790U 公開（公告）日 2019-10-11
申請公布號 CN209481790U 申請公布日 2019-10-11
分類號 C23C16/448;C23C16/455 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請（專利權）人 銅陵安德科銘電子材料科技有限公司
代理機構(gòu) 哈爾濱市偉晨專利代理事務所（普通合伙） 代理人 合肥安德科銘半導體科技有限公司
地址 230088 安徽省合肥市高新區(qū)創(chuàng)新大道106號明珠產(chǎn)業(yè)園3號樓5層E區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種防止前驅(qū)體液滴進入管線或腔體的源瓶，在源瓶中用增加隔板形成隔離區(qū)，隔離區(qū)成為一個過渡緩沖空間，收集前一步驟產(chǎn)生的液體并可釋放前驅(qū)體蒸汽到反應腔體中，從而有效避免或減少前驅(qū)體液體被帶入氣體管路或反應腔體。