一種可以檢測單側電容的電容檢測方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010795066.X 申請日 -
公開（公告）號 CN112014648A 公開（公告）日 2020-12-01
申請公布號 CN112014648A 申請公布日 2020-12-01
分類號 G01R27/26(2006.01)I;G01D5/241(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 高亭 申請（專利權）人 南京天易合芯電子有限公司
代理機構 南京蘇高專利商標事務所（普通合伙） 代理人 南京天易合芯電子有限公司
地址 210000江蘇省南京市浦口區(qū)浦濱路150號5號樓704室，804~805室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種可以檢測單側電容的電容檢測方法，包括步驟：(1)進行第一次檢測，將傳感元件以及屏蔽層在傳感器芯片內短接，并采樣此時的電容，為C1＝Cuser+Cback；其中，Cuse為傳感元件側的電容，Cback為屏蔽層側的電容；(2)進行第二次檢測，將傳感元件以及屏蔽層分別接入電容電壓轉換器的正負輸入端，并采樣此時的電容，為C2＝Cuse?Cback；其中，傳感元件接入正端，屏蔽層接入負端；(3)對兩次檢測結果求平均，得到傳感元件單側電容Cuser＝(C1+C2)/2。本發(fā)明通過不同的連接方式對電容做兩次檢測，并通過對兩次檢測結果求平均，得到傳感元件單側電容，屏蔽層一側的干擾電容被完全消除。??