一種可以檢測單側(cè)電容的電容檢測方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202010795066.X | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN112014648A | 公開（公告）日 | 2020-12-01 |
| 申請公布號 | CN112014648A | 申請公布日 | 2020-12-01 |
| 分類號 | G01R27/26(2006.01)I;G01D5/241(2006.01)I | 分類 | 測量；測試; |
| 發(fā)明人 | 高亭 | 申請（專利權(quán)）人 | 南京天易合芯電子有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 南京天易合芯電子有限公司 |
| 地址 | 210000江蘇省南京市浦口區(qū)浦濱路150號5號樓704室，804~805室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種可以檢測單側(cè)電容的電容檢測方法，包括步驟：(1)進(jìn)行第一次檢測，將傳感元件以及屏蔽層在傳感器芯片內(nèi)短接，并采樣此時的電容，為C1＝Cuser+Cback；其中，Cuse為傳感元件側(cè)的電容，Cback為屏蔽層側(cè)的電容；(2)進(jìn)行第二次檢測，將傳感元件以及屏蔽層分別接入電容電壓轉(zhuǎn)換器的正負(fù)輸入端，并采樣此時的電容，為C2＝Cuse?Cback；其中，傳感元件接入正端，屏蔽層接入負(fù)端；(3)對兩次檢測結(jié)果求平均，得到傳感元件單側(cè)電容Cuser＝(C1+C2)/2。本發(fā)明通過不同的連接方式對電容做兩次檢測，并通過對兩次檢測結(jié)果求平均，得到傳感元件單側(cè)電容，屏蔽層一側(cè)的干擾電容被完全消除。?? |
