一種基于硅薄膜的高靈敏壓力傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201820598754.5 申請日 -
公開（公告）號 CN208091607U 公開（公告）日 2018-11-13
申請公布號 CN208091607U 申請公布日 2018-11-13
分類號 G01L1/24 分類 測量；測試;
發(fā)明人 李誼軍;馮麗爽;高山;高玉倩;楊健;連子龍 申請（專利權）人 北京東方銳擇科技有限公司
代理機構 北京律和信知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 劉國偉;武玉琴
地址 100085 北京市海淀區(qū)創(chuàng)業(yè)中路36號4層412室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種基于硅薄膜的高靈敏壓力傳感器。所述壓力傳感器包括硅管、硼硅玻璃套管、單模光纖，其中：所述硅管用于作為FP腔體，其一端經過一段二氧化硅薄膜與硅薄膜固連，另一端與所述硼硅玻璃套管固連；所述硼硅玻璃套管連接所述硅管，用于插接所述單模光纖；所述單模光纖通過所述硼硅玻璃套管插入所述硅管之中，并且所述單模光纖的中心、所述硅薄膜的中心均在所述硅管的中心軸線上；所述單模光纖的端面和所述硅薄膜作為FP腔的兩個腔鏡，與所述硅管的軸向成90°，形成FP干涉結構。本實用新型基于SOI制備，可滿足不同靈敏度要求，探頭微型化；不易受溫度、濕度變化影響；探頭的傳感特性一致性好，易實現(xiàn)大規(guī)模生產，成本低。