基于硅薄膜的高靈敏壓力傳感器及其制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201810379032.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN108444623A | 公開（公告）日 | 2018-08-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN108444623A | 申請(qǐng)公布日 | 2018-08-24 |
| 分類號(hào) | G01L1/24 | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 李誼軍;馮麗爽;高山;高玉倩;楊健;連子龍 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 北京東方銳擇科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京律和信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 劉國偉;武玉琴 |
| 地址 | 100085 北京市海淀區(qū)創(chuàng)業(yè)中路36號(hào)4層412室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及基于硅薄膜的高靈敏壓力傳感器及其制備方法。所述壓力傳感器包括硅管、硼硅玻璃套管、單模光纖，其中：所述硅管用于作為FP腔體，其一端經(jīng)過一段二氧化硅薄膜與硅薄膜固連，另一端與所述硼硅玻璃套管固連；所述硼硅玻璃套管連接所述硅管，用于插接所述單膜光纖；所述單模光纖通過所述硼硅玻璃套管插入所述硅管之中，并且所述單模光纖的中心、所述硅薄膜的中心均在所述硅管的中心軸線上；所述單模光纖的端面和所述硅薄膜作為FP腔的兩個(gè)腔鏡，與所述硅管的軸向成90°，形成FP干涉結(jié)構(gòu)。本發(fā)明基于SOI制備，可滿足不同靈敏度要求，探頭微型化；不易受溫度、濕度變化影響；探頭的傳感特性一致性好，易實(shí)現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)，成本低。 |
