提高鈦合金板材硬質(zhì)耐磨納米涂層粘附強度的方法
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202010158061.6 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN111254401A | 公開(公告)日 | 2020-06-09 |
申請公布號 | CN111254401A | 申請公布日 | 2020-06-09 |
分類號 | C23C14/35(2006.01)I | 分類 | 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面化學(xué)處理;金屬材料的擴散處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆;金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
發(fā)明人 | 袁秦峰;梁必成;賀鵬;王以華 | 申請(專利權(quán))人 | 浙江申吉鈦業(yè)股份有限公司 |
代理機構(gòu) | 上海交達專利事務(wù)所 | 代理人 | 浙江申吉鈦業(yè)股份有限公司 |
地址 | 313307浙江省湖州市安吉縣梅溪鎮(zhèn)曉墅工業(yè)園區(qū) | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 一提高鈦合金板材硬質(zhì)耐磨納米涂層粘附強度的方法,通過設(shè)置可獨立控制的射頻陰極磁控濺射涂層裝置,通過磁控管噴霧的方式獲得合成靶TiB2+TiN、TiBe+Ti9Cr4B+Cr2Ti或TiB2+SiC后進一步通過離子浸蝕方法在合成靶表面得到復(fù)合涂層。本發(fā)明的涂層粘附強度提高六倍以上。用等離子浸蝕方法,增加襯層粗糙度;增加偏壓不僅增加粘合力,還改善了涂層密度;通過調(diào)節(jié)沉積溫度來提高涂層的附著強度。?? |
