一種微蝕減銅添加液及工藝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810784521.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN109097776A 公開（公告）日 2018-12-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN109097776A 申請(qǐng)公布日 2018-12-28
分類號(hào) C23F1/18 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 趙志斌;歐勝;肖紅星;孫寶林;舒良 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 東莞市廣華化工有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京商專永信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 高之波;莫莉萍
地址 523000 廣東省東莞市道滘鎮(zhèn)九曲村渦口(九曲至洪梅公路旁)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種微蝕減銅添加液及工藝，該添加液由含量為以下質(zhì)量百分?jǐn)?shù)的組分組成：無(wú)機(jī)酸化合物10％?20％；雙氧水穩(wěn)定劑1％?5％；減銅加速劑5％?15％；水余量；所述物質(zhì)都以純物質(zhì)的質(zhì)量計(jì)算。本發(fā)明提供一種微蝕減銅添加液，可按生產(chǎn)要求調(diào)節(jié)蝕刻速率，將基材板的銅厚度蝕刻至所需厚度，蝕刻速率穩(wěn)定且能很好的清除金屬表面的氧化物，槽液中雙氧水的穩(wěn)定性有所提高。而且，本發(fā)明產(chǎn)品中不含有雙氧水，與傳統(tǒng)微蝕液相比，生產(chǎn)和運(yùn)輸過(guò)程中的安全性有了很大的提高。