一種光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)及方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110693191.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN113466179A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-10-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113466179A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-10-01 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01N21/47（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 楊琦;許一力 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 杭州譜析光晶半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京知呱呱知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 孫志一 |
| 地址 | 311200浙江省杭州市蕭山區(qū)瓜瀝鎮(zhèn)梅仙村盈錢(qián)路梅仙段13號(hào)1幢417（自行分割） | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請(qǐng)實(shí)施例公開(kāi)了一種光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)及方法，通過(guò)激發(fā)光模塊用于產(chǎn)生激發(fā)光束并將所述激發(fā)光束導(dǎo)向待檢測(cè)樣品；光場(chǎng)重構(gòu)模塊用于收集散射光，并根據(jù)目標(biāo)屬性進(jìn)行散射光重構(gòu)，將重構(gòu)后的光場(chǎng)導(dǎo)向光信號(hào)檢測(cè)模塊，所述目標(biāo)屬性包括目標(biāo)偏振態(tài)、目標(biāo)相位和目標(biāo)振幅；所述光信號(hào)探測(cè)模塊，用于接收所述光場(chǎng)重構(gòu)模塊發(fā)送的各檢測(cè)頻率或子頻段的光信號(hào)并轉(zhuǎn)換成電信號(hào)；信號(hào)收集處理模塊，用于收集所述光信號(hào)探測(cè)模塊發(fā)送的電信號(hào)，根據(jù)所述電信號(hào)的屬性確定所述待檢測(cè)樣品表面的物理成分信息和/或化學(xué)成分信息。通過(guò)對(duì)收集的波長(zhǎng)、相位、振幅、偏折方向的光學(xué)信號(hào)進(jìn)一步處理，可以獲得待檢測(cè)樣品表層物理成分、微觀形貌等物理與化學(xué)成分信息。 |
