一種光學(xué)檢測系統(tǒng)及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110693191.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113466179A 公開（公告）日 2021-10-01
申請公布號 CN113466179A 申請公布日 2021-10-01
分類號 G01N21/47（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 楊琦;許一力 申請（專利權(quán)）人 杭州譜析光晶半導(dǎo)體科技有限公司
代理機構(gòu) 北京知呱呱知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 孫志一
地址 311200浙江省杭州市蕭山區(qū)瓜瀝鎮(zhèn)梅仙村盈錢路梅仙段13號1幢417（自行分割）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請實施例公開了一種光學(xué)檢測系統(tǒng)及方法，通過激發(fā)光模塊用于產(chǎn)生激發(fā)光束并將所述激發(fā)光束導(dǎo)向待檢測樣品；光場重構(gòu)模塊用于收集散射光，并根據(jù)目標(biāo)屬性進行散射光重構(gòu)，將重構(gòu)后的光場導(dǎo)向光信號檢測模塊，所述目標(biāo)屬性包括目標(biāo)偏振態(tài)、目標(biāo)相位和目標(biāo)振幅；所述光信號探測模塊，用于接收所述光場重構(gòu)模塊發(fā)送的各檢測頻率或子頻段的光信號并轉(zhuǎn)換成電信號；信號收集處理模塊，用于收集所述光信號探測模塊發(fā)送的電信號，根據(jù)所述電信號的屬性確定所述待檢測樣品表面的物理成分信息和/或化學(xué)成分信息。通過對收集的波長、相位、振幅、偏折方向的光學(xué)信號進一步處理，可以獲得待檢測樣品表層物理成分、微觀形貌等物理與化學(xué)成分信息。