一種微納米標(biāo)準(zhǔn)樣板及其循跡方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610401901.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN105865389A 公開（公告）日 2016-08-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN105865389A 申請(qǐng)公布日 2016-08-17
分類號(hào) G01B21/04(2006.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 雷李華;邵力;李源;魏佳斯;蔡瀟雨;傅云霞;張波 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海計(jì)測(cè)信息科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海浦東良風(fēng)專利代理有限責(zé)任公司 代理人 陳志良
地址 201203 上海市浦東新區(qū)張衡路1500號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明為一種微納米標(biāo)準(zhǔn)樣板及其循跡方法，其特征在于：所述的微納米標(biāo)準(zhǔn)樣板包括A區(qū)域、B區(qū)域和C區(qū)域三個(gè)工作區(qū)域；所述的A區(qū)域設(shè)有向上的箭頭形狀的循跡標(biāo)識(shí)；所述的B區(qū)域設(shè)有不同計(jì)量尺寸的第一矩陣陣列光柵和第二矩陣陣列光柵；所述的C區(qū)域設(shè)有不同計(jì)量尺寸的第一橫向刻度尺、第二橫向刻度尺、第三橫向刻度尺和第四橫向刻度尺，所述的C區(qū)域還設(shè)有四個(gè)等腰直角三角形形狀的循跡標(biāo)識(shí)。所述A區(qū)域的向上的箭頭形狀的循跡標(biāo)識(shí)實(shí)現(xiàn)了在測(cè)量前快速定位微納米標(biāo)準(zhǔn)樣板并確定樣板的正交掃描方向，便于快速定位B區(qū)域和C區(qū)域，并通過坐標(biāo)關(guān)系實(shí)現(xiàn)重復(fù)性測(cè)量。