一種用于氫燃料電池金屬雙極板的超低電阻耐腐蝕涂層的制備工藝
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010819189.2 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112111716A | 公開（公告）日 | 2020-12-22 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112111716A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-12-22 |
| 分類號(hào) | C23C14/35(2006.01)I | 分類 | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 不公告發(fā)明人 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 昆山市恒鼎新材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州智品專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 昆山市恒鼎新材料有限公司 |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市昆山市千燈鎮(zhèn)華濤路108號(hào)3號(hào)房 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種用于氫燃料電池金屬雙極板的超低電阻耐腐蝕涂層的制備工藝，包含以下步驟：將金屬雙極板清洗后放入烤箱內(nèi)烘烤；將烘烤后的金屬雙極板放入真空爐中，真空加熱烘干；向真空爐內(nèi)通入氬氣，使其內(nèi)真空度為0.5?2.5Pa，射頻離子源靶源采用C靶，對(duì)金屬雙極板進(jìn)行離子清洗30?60min；關(guān)閉氬氣、工件偏壓、離子源和靶源，將真空爐抽真空至真空度為(1.0?8.0)*10?3Pa；向真空爐內(nèi)通入氬氣，采用等離子體增強(qiáng)真空平面磁控濺射法，依次為金屬雙極板鍍上Ti基層、TiN過渡層和非晶碳膜層。本發(fā)明的制備工藝，把耐腐蝕層和導(dǎo)電層依次沉積在金屬雙極板上，降低其表面接觸電阻，提高其耐腐蝕性。?? |
