一種像元級(jí)多光譜濾光片的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910962992.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110703375A 公開（公告）日 2020-01-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN110703375A 申請(qǐng)公布日 2020-01-17
分類號(hào) G02B5/20;G02B5/28 分類 光學(xué);
發(fā)明人 楊海貴;張建;王笑夷;楊飛;張卓;高勁松 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 長(zhǎng)春長(zhǎng)光辰譜科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市科進(jìn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 曹衛(wèi)良
地址 130033 吉林省長(zhǎng)春市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)東南湖大路3888號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種像元級(jí)多光譜濾光片的制備方法，包括：在基底上沉積具有良好光譜通帶特性的較厚寬帶通濾光膜堆；在帶通濾光膜堆上制備圖形化的金屬薄膜；在圖形化的金屬薄膜上干法刻蝕帶濾光膜堆，制備出一個(gè)陡峭的臺(tái)階狀光譜通道單元；重復(fù)以上步驟制備出其它數(shù)個(gè)光譜通道單元；最后去掉所有光譜通道單元上的金屬膜。本發(fā)明提供的像元級(jí)多光譜濾光片的制備方法，可以形成厚度為5?15微米較厚陣列式周期性排列的帶通濾光膜堆，有利于提高像元級(jí)多光譜濾光片光譜通道的通帶特性，利用了圖形化的金屬薄膜作為掩膜層和刻蝕停止層，阻止已形成的光譜通道單元免于刻蝕，降低制備過(guò)程中的陰影遮蔽效應(yīng)以保證通道單元外形尺寸完整性。