一種應(yīng)用于泡生法藍(lán)寶石單晶生長的軸向溫度梯度可調(diào)的保溫結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310300332.7 申請日 -
公開（公告）號 CN103352247B 公開（公告）日 2016-06-29
申請公布號 CN103352247B 申請公布日 2016-06-29
分類號 C30B17/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 王慶國;錢兵;朱燁;汪紅衛(wèi);鞠星;李倩 申請（專利權(quán)）人 江西東海藍(lán)玉光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州睿昊知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 伍見
地址 225300 江蘇省泰州市高港區(qū)高港科技園創(chuàng)業(yè)大道北側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種應(yīng)用于泡生法藍(lán)寶石單晶生長的軸向溫度梯度可調(diào)的保溫結(jié)構(gòu)，設(shè)置于不銹鋼桶內(nèi)，采用以鎢或鉬為材料的金屬薄板作熱屏，熱屏包括水平式熱屏，傾斜式熱屏和垂直式熱屏；各屏之間縫隙用鉬條垂直間隔支撐；不銹鋼桶與垂直式熱屏之間通過鉬片間隔有用于填充空心泡殼的內(nèi)層填充區(qū)和外層填充區(qū)，所述內(nèi)層填充區(qū)填充有ZrO2空心泡殼，且內(nèi)層填充區(qū)填充滿；上述外層填充區(qū)填充的空心泡殼為ZrO2空心泡殼或Al2O3空心泡殼。本發(fā)明通過調(diào)節(jié)外層填充區(qū)高度來調(diào)節(jié)爐內(nèi)軸向的溫度梯度分布，調(diào)節(jié)生長晶體的回熔區(qū)位置和范圍，使晶體表面溫度分布更加平緩，降低了由于熱應(yīng)力過高而導(dǎo)致晶體開裂的概率，從而促進(jìn)晶體生長過程中凸的液固界面的形成，提高晶體質(zhì)量。