一種減少大尺寸藍寶石晶體氣泡的泡生法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210434857.5 申請日 -
公開（公告）號 CN103074671B 公開（公告）日 2015-10-28
申請公布號 CN103074671B 申請公布日 2015-10-28
分類號 C30B17/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 范世煒;曾錫強 申請（專利權(quán)）人 江西東海藍玉光電科技有限公司
代理機構(gòu) 杭州杭誠專利事務所有限公司 代理人 尉偉敏
地址 314300 浙江省嘉興市海鹽縣鹽齊路12號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種減少大尺寸藍寶石晶體氣泡的泡生法，包括準備原料、爐體抽真空、爐體加熱、熔接晶種、晶頸生長、晶體生長、分離與退火、取晶步驟。晶體生長時，固液界面處于熔體包圍之中，這樣熔體表面的溫度擾動和機械擾動在到達固液界面以前可被熔體減小以致消除；將單晶晶種與晶種桿之間的捆綁成漏斗狀，使得單晶晶種下端部晶體生長的界面為微凸，避免了藍寶石晶體在生長過程中產(chǎn)生氣泡；通過兩次引晶，避免了將單晶晶種內(nèi)部缺陷引入藍寶石單晶，同時也可以避免在一次引晶過程中產(chǎn)生的雙晶、層錯、氣泡等缺陷引入藍寶石單晶，提高了藍寶石單晶的質(zhì)量。