一種適用于非標(biāo)準(zhǔn)尺寸硅片的清洗片架
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202120204344.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN214600919U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-11-05 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN214600919U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-11-05 |
| 分類號(hào) | B08B13/00（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L21/673（2006.01）I | 分類 | 清潔; |
| 發(fā)明人 | 呂偉;陳磊;錢如平 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江蘇新順微電子股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 江陰市輕舟專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 孫燕波 |
| 地址 | 214400江蘇省無(wú)錫市江陰市高新區(qū)長(zhǎng)山大道78號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種適用于非標(biāo)準(zhǔn)尺寸硅片的清洗片架，屬于半導(dǎo)體清洗技術(shù)領(lǐng)域。包括片架本體，所述片架本體設(shè)于自動(dòng)清洗機(jī)的標(biāo)準(zhǔn)片架內(nèi)，所述片架本體與標(biāo)準(zhǔn)片架內(nèi)腔相匹配，所述片架本體表面開(kāi)設(shè)用于放置非標(biāo)硅片的置物單元，且所述置物單元上下貫通。所述置物單元分別包括若干均勻間隔設(shè)置的卡槽，且相鄰所述卡槽之間的間距與標(biāo)準(zhǔn)片架上的置物槽相匹配，所述卡槽的大小與非標(biāo)硅片相匹配。所述置物單元設(shè)有多個(gè)，多個(gè)所述置物單元并列布置。所述片架本體為特氟龍材質(zhì)制成件。本申請(qǐng)放于現(xiàn)有自動(dòng)清洗機(jī)的標(biāo)準(zhǔn)片架內(nèi)，標(biāo)準(zhǔn)片架對(duì)片架本體起到支撐作用，使得片架本體卡槽中的非標(biāo)準(zhǔn)尺寸的硅片在自動(dòng)清洗機(jī)內(nèi)自動(dòng)清洗，省時(shí)省力。 |
