一種對(duì)水路流量實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)的電極冷卻裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120204355.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214592060U 公開(kāi)（公告）日 2021-11-02
申請(qǐng)公布號(hào) CN214592060U 申請(qǐng)公布日 2021-11-02
分類號(hào) H05B6/54（2006.01）I;H05K7/20（2006.01）I 分類 其他類目不包含的電技術(shù);
發(fā)明人 陳禮梅;顧軍魏 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇新順微電子股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 江陰市輕舟專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 孫燕波
地址 214400江蘇省無(wú)錫市江陰市高新區(qū)長(zhǎng)山大道78號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種對(duì)水路流量實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)的電極冷卻裝置，屬于電極冷卻裝置技術(shù)領(lǐng)域。包括多組水路監(jiān)測(cè)單元，多組所述水路監(jiān)測(cè)單元并列布置，多組所述水路監(jiān)測(cè)單元進(jìn)口并聯(lián)后通過(guò)出水總管與冷水機(jī)出口連通，多組所述水路監(jiān)測(cè)單元出口并聯(lián)后通過(guò)進(jìn)水總管與冷水機(jī)進(jìn)口連接；所述水路監(jiān)測(cè)單元上分別設(shè)置腔體壓力傳感器，且所述腔體壓力傳感器分別通過(guò)對(duì)應(yīng)的第一連接管與主機(jī)連接，所述第一連接管還與水路監(jiān)測(cè)單元連接；所述主機(jī)通過(guò)信號(hào)線與特氣柜連接，所述特氣柜通過(guò)第二連接管與進(jìn)水總管連通。本申請(qǐng)第一水流量傳感器分別對(duì)對(duì)應(yīng)的腔體內(nèi)的水流量進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測(cè)，主機(jī)終止對(duì)應(yīng)的腔體執(zhí)行工藝程序，避免了腔體真空異常的情況發(fā)生，提高了產(chǎn)品質(zhì)量。