一種開管擴(kuò)散爐爐帽提醒裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202120388241.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN214620690U | 公開（公告）日 | 2021-11-05 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN214620690U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-11-05 |
| 分類號(hào) | F27D21/04（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L21/22（2006.01）I | 分類 | 爐；窯；烘烤爐；蒸餾爐〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 丁飛;陳建標(biāo);楊芳 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江蘇新順微電子股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 江陰市輕舟專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 孫燕波 |
| 地址 | 214400江蘇省無錫市江陰市高新區(qū)長山大道78號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種開管擴(kuò)散爐爐帽提醒裝置，屬于半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域。包括用于放置爐帽的放置臺(tái)，所述放置臺(tái)底部設(shè)置重力傳感器，所述重力傳感器與聲光報(bào)警器信號(hào)連接；所述開管擴(kuò)散爐外側(cè)設(shè)有導(dǎo)軌，所述導(dǎo)軌上設(shè)置計(jì)時(shí)傳感器和位置傳感器，所述位置傳感器設(shè)于計(jì)時(shí)傳感器外側(cè)；所述導(dǎo)軌上活動(dòng)設(shè)有石英勾，所述石英勾能夠向擴(kuò)散爐靠近而依次觸發(fā)計(jì)時(shí)傳感器和位置傳感器，或向開管擴(kuò)散爐遠(yuǎn)離；所述計(jì)時(shí)傳感器和位置傳感器與聲光報(bào)警器信號(hào)連接；同時(shí)觸發(fā)所述計(jì)時(shí)傳感器、位置傳感器和重力傳感器且計(jì)時(shí)傳感器到達(dá)計(jì)時(shí)時(shí)間時(shí)，滿足聲光報(bào)警器觸發(fā)條件。本申請(qǐng)不僅能夠發(fā)出聲光報(bào)警，提醒作業(yè)人員；而且能夠暫停工藝作業(yè)，避免造成工藝偏差。 |
