一種位置輔助芯片晶圓映射方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201610226898.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN105789079B | 公開(kāi)（公告）日 | 2018-04-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN105789079B | 申請(qǐng)公布日 | 2018-04-24 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/66;G01R31/26 | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 朱干軍 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 上海量童光電科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 合肥市上嘉專(zhuān)利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 朱干軍;義烏臻格科技有限公司;上海量童光電科技有限公司;安徽牧壯農(nóng)牧科技有限公司 |
| 地址 | 230041 安徽省合肥市廬陽(yáng)區(qū)沿河路222號(hào)柏景灣疊翠軒18-501室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種位置輔助芯片晶圓映射方法，包括以下步驟：包括以下步驟：利用移動(dòng)臺(tái)把待測(cè)元件移動(dòng)到提取位置，并記錄移動(dòng)臺(tái)的位置移動(dòng)量的步驟；將被提取的待測(cè)元件和對(duì)應(yīng)的移動(dòng)臺(tái)位置移動(dòng)量或者由移動(dòng)臺(tái)位置移動(dòng)量標(biāo)定的坐標(biāo)一起在測(cè)量環(huán)節(jié)中流轉(zhuǎn)的步驟；以及利用各待測(cè)元件的結(jié)構(gòu)參數(shù)、對(duì)應(yīng)的移動(dòng)臺(tái)位置移動(dòng)量或坐標(biāo)、以及在測(cè)量環(huán)節(jié)中獲得的測(cè)量參數(shù)來(lái)重構(gòu)測(cè)量參數(shù)的晶圓映射的步驟。不同于在芯片上進(jìn)行物理標(biāo)記的方法，本發(fā)明借助與芯片有確定位置關(guān)系的位置移動(dòng)量，來(lái)標(biāo)記芯片在晶圓上的相對(duì)位置或坐標(biāo)，在芯片級(jí)物理參數(shù)測(cè)量后，實(shí)現(xiàn)可對(duì)其參數(shù)的晶圓映射的重構(gòu)，而不在硬件層面上增加制程和檢測(cè)環(huán)節(jié)的成本。 |
