一種用于半導(dǎo)體晶片的儲(chǔ)存運(yùn)輸裝置及其使用方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910964953.2 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN110697252B 公開（公告）日 2021-09-14
申請公布號(hào) CN110697252B 申請公布日 2021-09-14
分類號(hào) B65D81/05 分類 輸送；包裝；貯存；搬運(yùn)薄的或細(xì)絲狀材料;
發(fā)明人 王華珍 申請（專利權(quán)）人 杭州翔毅科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州市紅荔專利代理有限公司 代理人 吳偉文
地址 311200 浙江省杭州市蕭山區(qū)蕭山經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)啟迪路198號(hào)C-712室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種用于半導(dǎo)體晶片的儲(chǔ)存運(yùn)輸裝置，包括架體、用于放置半導(dǎo)體晶片的置物機(jī)構(gòu)、用于對置物機(jī)構(gòu)表面進(jìn)行清理的吸塵機(jī)構(gòu)和用于控制置物機(jī)構(gòu)和吸塵機(jī)構(gòu)運(yùn)行的控制裝置，所述置物機(jī)構(gòu)包括兩個(gè)對稱設(shè)置的置物架、以及安裝在置物架上的升降機(jī)構(gòu)，所述吸塵機(jī)構(gòu)在架體上設(shè)置有兩個(gè)，兩個(gè)吸塵機(jī)構(gòu)分別對應(yīng)相應(yīng)的蒙皮處匹配設(shè)置，吸塵機(jī)構(gòu)包括推缸、滑塊、刷體和電磁閥二,本發(fā)明能夠用于放置半導(dǎo)體晶片,且能夠避免半導(dǎo)體晶片出現(xiàn)磨損的情況。