玻璃蓋片激光劃片裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201420055689.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN203804424U 公開(kāi)（公告）日 2014-09-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN203804424U 申請(qǐng)公布日 2014-09-03
分類號(hào) B23K26/53(2014.01)I;B23K26/064(2014.01)I;B23K26/08(2014.01)I;B23K26/70(2014.01)I;H01L27/146(2006.01)I 分類 機(jī)床；不包含在其他類目中的金屬加工;
發(fā)明人 郭良;潘傳鵬 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州蘭葉光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 范晴
地址 215123 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號(hào)蘇州納米城西北區(qū)NW-02棟606室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種玻璃蓋片激光劃片裝置，它包括：能夠發(fā)出激光束的激光光源，對(duì)所述激光光源所發(fā)出的激光束的激光功率進(jìn)行調(diào)節(jié)的激光功率調(diào)節(jié)裝置，用于調(diào)節(jié)所述激光束的偏振態(tài)及偏振方向的裝置，使所述激光束會(huì)聚的激光會(huì)聚裝置，能夠讓由所述激光會(huì)聚裝置會(huì)聚的激光焦點(diǎn)的位置沿豎直方向上下移動(dòng)的Z向移動(dòng)機(jī)構(gòu)，以及用于固定晶圓的晶圓定位平臺(tái)；所述晶圓定位平臺(tái)上設(shè)置有能夠帶動(dòng)該晶圓定位平臺(tái)在水平面內(nèi)作旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、以及能夠帶動(dòng)該晶圓定位平臺(tái)在水平方向平移運(yùn)動(dòng)的X向移動(dòng)機(jī)構(gòu)和Y向移動(dòng)機(jī)構(gòu)。該裝置在控制芯片良品率的同時(shí)還可以提高生產(chǎn)效率，也可以避免耗材更換的成本問(wèn)題。