一種計(jì)算光刻中掩模版的處理方法及裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910072613.9 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN109656106B 公開（公告）日 2020-12-04
申請公布號(hào) CN109656106B 申請公布日 2020-12-04
分類號(hào) G03F7/20 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 閻江;梁文青 申請（專利權(quán)）人 墨研計(jì)算科學(xué)（南京）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京弘權(quán)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 墨研計(jì)算科學(xué)（南京）有限公司
地址 210031 江蘇省南京市江北新區(qū)星火路9號(hào)軟件大廈B座407-80室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種計(jì)算光刻中掩模版的處理方法及裝置，在所述方法中，通過多邊形的頂點(diǎn)數(shù)據(jù)，獲取多邊形中邊的長度以及方向，并根據(jù)所述邊的長度以及方向定義多邊形的數(shù)據(jù)格式，令掩模版圖形按照所述數(shù)據(jù)格式進(jìn)行存儲(chǔ)、讀取以及傳輸。相較于現(xiàn)有技術(shù)，本申請公開的方法，通過對掩模版圖形中多邊形的邊進(jìn)行存儲(chǔ)，有效的減小了掩模版圖形的存儲(chǔ)空間，并使得掩模版圖形的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)程序之間能夠?qū)崿F(xiàn)快速讀取以及傳輸。并且，在獲取掩模版圖形函數(shù)時(shí)，基于多邊形中邊的方向，對基本圖形函數(shù)進(jìn)行線性組合，提高計(jì)算光刻的效率。