一種基于多目標優(yōu)化的光刻工藝分辨率增強方法及裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911123888.7 申請日 -
公開（公告）號 CN110597023B 公開（公告）日 2020-03-17
申請公布號 CN110597023B 申請公布日 2020-03-17
分類號 G03F7/20 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 周潔云;崔紹春;陳雪蓮 申請（專利權）人 墨研計算科學（南京）有限公司
代理機構 北京弘權知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 墨研計算科學（南京）有限公司
地址 210031 江蘇省南京市江北新區(qū)星火路9號軟件大廈B座407-80室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及半導體生產的光刻工藝技術領域，具體而言，涉及一種基于多目標優(yōu)化的光刻工藝分辨率增強方法及裝置。本申請?zhí)峁┮环N基于多目標優(yōu)化的光刻工藝分辨率增強方法，包括以下步驟：通過劃分多個圓重疊的方法得到照明光源的區(qū)域劃分用于優(yōu)化光源；確定亞分辨率輔助圖形SRAF位置變量的初始位置用于優(yōu)化掩膜；使用實數編碼的方法建立優(yōu)化變量的種群；對種群中單一染色體通過計算光刻模型確定多目標優(yōu)化策略的評價標準函數；使用遺傳進化算法對當前種群重復進行“評價?選擇?交叉?變異”計算，獲得評價標準函數的迭代更新；通過解碼最終種群得到多目標優(yōu)化策略的解集帕累托支撐解。