一種玻璃基板缺陷檢測裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810428294.6 申請日 -
公開(公告)號 CN108426897B 公開(公告)日 2021-03-12
申請公布號 CN108426897B 申請公布日 2021-03-12
分類號 G01N21/958(2006.01)I 分類 測量;測試;
發(fā)明人 范和峰 申請(專利權(quán))人 蕪湖良匠機械制造有限公司
代理機構(gòu) 北京風(fēng)雅頌專利代理有限公司 代理人 楊紅梅
地址 241000安徽省蕪湖市鳩江區(qū)經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)橋北工業(yè)園紅光路1#廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種玻璃基板缺陷檢測裝置,包括支撐底座和承載玻璃臺,承載玻璃臺的下方設(shè)有機械移位機構(gòu),支撐底座的上方設(shè)有照相拍攝機構(gòu),支撐底座的末端還設(shè)有基板夾緊翻轉(zhuǎn)機構(gòu),承載玻璃臺的內(nèi)部設(shè)有空腔立體槽,空腔立體槽的內(nèi)部設(shè)有玻璃吸附機構(gòu),機械移位機構(gòu)包括X軸移動機構(gòu)和Y軸移動機構(gòu),X軸移動機構(gòu)包括橫向承重板,以及設(shè)置在橫向承重板上X軸移動軌道,承載玻璃臺的下表面設(shè)有耐磨滑塊,Y軸移動機構(gòu)包括承重滑塊,以及設(shè)置在支撐底座內(nèi)部的Y軸移動軌道,承重滑塊安裝在Y軸移動軌道內(nèi);在缺陷檢測之前進行相機鏡筒安裝檢測,提高缺陷檢測的精確性,可對玻璃基板的整個平面進行檢測,提高檢測的覆蓋率和準(zhǔn)確性。??