一種玻璃基板缺陷檢測裝置
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN201810428294.6 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN108426897B | 公開(公告)日 | 2021-03-12 |
申請公布號 | CN108426897B | 申請公布日 | 2021-03-12 |
分類號 | G01N21/958(2006.01)I | 分類 | 測量;測試; |
發(fā)明人 | 范和峰 | 申請(專利權(quán))人 | 蕪湖良匠機械制造有限公司 |
代理機構(gòu) | 北京風(fēng)雅頌專利代理有限公司 | 代理人 | 楊紅梅 |
地址 | 241000安徽省蕪湖市鳩江區(qū)經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)橋北工業(yè)園紅光路1#廠房 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明公開了一種玻璃基板缺陷檢測裝置,包括支撐底座和承載玻璃臺,承載玻璃臺的下方設(shè)有機械移位機構(gòu),支撐底座的上方設(shè)有照相拍攝機構(gòu),支撐底座的末端還設(shè)有基板夾緊翻轉(zhuǎn)機構(gòu),承載玻璃臺的內(nèi)部設(shè)有空腔立體槽,空腔立體槽的內(nèi)部設(shè)有玻璃吸附機構(gòu),機械移位機構(gòu)包括X軸移動機構(gòu)和Y軸移動機構(gòu),X軸移動機構(gòu)包括橫向承重板,以及設(shè)置在橫向承重板上X軸移動軌道,承載玻璃臺的下表面設(shè)有耐磨滑塊,Y軸移動機構(gòu)包括承重滑塊,以及設(shè)置在支撐底座內(nèi)部的Y軸移動軌道,承重滑塊安裝在Y軸移動軌道內(nèi);在缺陷檢測之前進行相機鏡筒安裝檢測,提高缺陷檢測的精確性,可對玻璃基板的整個平面進行檢測,提高檢測的覆蓋率和準(zhǔn)確性。?? |
