一種鐘罩式化學(xué)氣相沉積爐

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021338521.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN213203187U 公開(kāi)（公告）日 2021-05-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN213203187U 申請(qǐng)公布日 2021-05-14
分類號(hào) C23C16/44 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 賀鵬博;周帆 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 湖南鎧欣新材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 長(zhǎng)沙軒榮專利代理有限公司 代理人 黃藝平
地址 413000 湖南省益陽(yáng)市高新區(qū)東部產(chǎn)業(yè)園標(biāo)準(zhǔn)化廠房E區(qū)E1棟北側(cè)一半
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種鐘罩式化學(xué)氣相沉積爐。鐘罩式化學(xué)氣相沉積爐，包括：基座；沉淀爐本體，所述沉淀爐本體設(shè)在基座的頂部；四個(gè)支桿，四個(gè)所述支桿均固定安裝在基座的頂部，四個(gè)所述支桿呈矩形列陣分布；兩個(gè)對(duì)桿，兩個(gè)所述對(duì)桿分別轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在四個(gè)所述支桿之間；四個(gè)圓盤，四個(gè)所述圓盤分別固定套設(shè)在兩個(gè)所述對(duì)桿上；四個(gè)接桿，四個(gè)所述接桿分別固定安裝在對(duì)應(yīng)的所述圓盤上；四個(gè)壓桿，四個(gè)所述壓桿分別焊接在對(duì)應(yīng)的所述接桿上，四個(gè)所述壓桿均與沉淀爐本體相接觸。本實(shí)用新型提供的鐘罩式化學(xué)氣相沉積爐具有使用方便、便有將沉淀爐本體壓牢、保證沉淀爐整體的密閉性的優(yōu)點(diǎn)。