一種化學(xué)氣相沉積爐尾氣處理裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021006547.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214345110U 公開(kāi)（公告）日 2021-10-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN214345110U 申請(qǐng)公布日 2021-10-08
分類(lèi)號(hào) B01D46/10（2006.01）I;B01D46/00（2006.01）I;C23C16/44（2006.01）I 分類(lèi) 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 賀鵬博;周帆 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 湖南鎧欣新材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 長(zhǎng)沙軒榮專利代理有限公司 代理人 張勇
地址 413000湖南省益陽(yáng)市高新區(qū)東部產(chǎn)業(yè)園標(biāo)準(zhǔn)化廠房E區(qū)E1棟北側(cè)一半
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種化學(xué)氣相沉積爐尾氣處理裝置?；瘜W(xué)氣相沉積爐尾氣處理裝置，包括：化學(xué)氣相沉積爐爐體；尾氣管道，所述尾氣管道設(shè)置在所述化學(xué)氣相沉積爐爐體的一側(cè)；加熱機(jī)構(gòu)，所述加熱機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述尾氣管道上。本實(shí)用新型提供的化學(xué)氣相沉積爐尾氣處理裝置具有可以對(duì)尾氣管道進(jìn)行加熱，進(jìn)而減少?gòu)U氣中物體的凝結(jié)，提高管道的使用效果的優(yōu)點(diǎn)。