一種化學(xué)氣相沉積爐的輔助進(jìn)氣裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021030735.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212770948U | 公開（公告）日 | 2021-03-23 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212770948U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-23 |
| 分類號(hào) | C23C16/455(2006.01)I | 分類 | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 賀鵬博;周帆 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 湖南鎧欣新材料科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 長沙軒榮專利代理有限公司 | 代理人 | 張勇 |
| 地址 | 413000湖南省益陽市高新區(qū)東部產(chǎn)業(yè)園標(biāo)準(zhǔn)化廠房E區(qū)E1棟北側(cè)一半 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供一種化學(xué)氣相沉積爐的輔助進(jìn)氣裝置?；瘜W(xué)氣相沉積爐的輔助進(jìn)氣裝置，包括：爐體本體；抽氣泵，所述抽氣泵設(shè)置在所述爐體本體的一側(cè)；混氣機(jī)構(gòu)，所述混氣機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述抽氣泵的一側(cè)；第二連接管，所述第二連接管設(shè)置在所述爐體本體和所述抽氣泵之間；加熱底座，所述加熱底座設(shè)置在所述爐體本體的底部內(nèi)壁上；真空泵，所述真空泵設(shè)置在所述爐體本體的頂部；放置平臺(tái)，所述放置平臺(tái)固定安裝在所述爐體本體的一側(cè)。本實(shí)用新型提供的化學(xué)氣相沉積爐的輔助進(jìn)氣裝置具有可以對(duì)氣體進(jìn)行混合，且混合效果好，進(jìn)而提高反應(yīng)效果的優(yōu)點(diǎn)。?? |
